分子泵機(jī)組憑借穩(wěn)定的真空控制能力與多元適配特性,已在半導(dǎo)體、光伏、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)初步應(yīng)用,為行業(yè)高真空環(huán)境搭建需求提供新選擇,成為推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)與研發(fā)效率提升的設(shè)備新支撐。
一、模塊化設(shè)計(jì):構(gòu)建全流程真空解決方案
•核心部件協(xié)同:機(jī)組以分子泵為核心,通過(guò)高速轉(zhuǎn)子定向輸送氣體分子,實(shí)現(xiàn)高等級(jí)真空度;搭配的前級(jí)真空泵提供前置真空條件,確保分子泵穩(wěn)定啟動(dòng);
•智能監(jiān)控輔助:真空測(cè)量系統(tǒng)實(shí)時(shí)追蹤真空度變化,為參數(shù)調(diào)整提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù);控制系統(tǒng)整合各部件運(yùn)行邏輯,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化啟停與狀態(tài)監(jiān)控,大幅降低人工操作壓力。
各部件協(xié)同運(yùn)轉(zhuǎn),覆蓋從真空獲取到監(jiān)控的全流程,滿足不同場(chǎng)景下的真空需求。

二、性能優(yōu)勢(shì):貼合行業(yè)實(shí)際作業(yè)需求
•真空覆蓋廣:可從低真空延伸至超高真空,既能滿足半導(dǎo)體芯片刻蝕環(huán)節(jié)對(duì)高潔凈度真空的要求,也能適配光伏行業(yè)薄膜沉積工藝的精準(zhǔn)真空控制;
•運(yùn)行體驗(yàn)佳:運(yùn)行時(shí)噪音低,避免干擾生產(chǎn)車(chē)間或?qū)嶒?yàn)室環(huán)境;設(shè)備啟動(dòng)速度快,縮短從開(kāi)機(jī)到達(dá)到目標(biāo)真空度的耗時(shí),有效提升作業(yè)效率;
•維護(hù)更便捷:模塊化布局讓后期維護(hù)操作簡(jiǎn)單,部件拆卸與更換便捷,減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間,保障生產(chǎn)與實(shí)驗(yàn)的連續(xù)性。
三、多領(lǐng)域落地:為產(chǎn)業(yè)升級(jí)注入新動(dòng)力
目前,該機(jī)組已在多個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)應(yīng)用,為行業(yè)發(fā)展提供設(shè)備支持:
•半導(dǎo)體行業(yè):為芯片光刻、鍍膜等關(guān)鍵工序提供穩(wěn)定真空環(huán)境,助力提升芯片生產(chǎn)精度與成品率;
•光伏領(lǐng)域:通過(guò)精準(zhǔn)控制真空度,保障太陽(yáng)能電池片制備中的薄膜沉積質(zhì)量,推動(dòng)電池轉(zhuǎn)換效率提升;
•科研領(lǐng)域:成為高校與科研機(jī)構(gòu)的重要實(shí)驗(yàn)設(shè)備,支持材料科學(xué)、物理學(xué)等前沿研究,提供可靠真空條件;
其他行業(yè):電子器件封裝、真空鍍膜等領(lǐng)域也開(kāi)始引入該機(jī)組,為技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)注入新動(dòng)力。