真空隔膜閥是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上，用來截止或接通真空系統(tǒng)。采用連接形式有活套法蘭連接、快卸法蘭連接、焊接式連接。焊接式連接又分焊接式I型連接〔即兩端焊接〕，焊接式II型連接〔即一端焊接，另一端插入〕。閥門適用的工作介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。其操縱機(jī)構(gòu)與介質(zhì)通路隔開，不但保證了工作介質(zhì)的純凈，同時也防止管路中介質(zhì)沖擊操縱機(jī)構(gòu)工作部件的可能性。此外，閥桿處不需要采用任何形式的單獨密封，除非在控制有害介質(zhì)中作為安全設(shè)施使用。隔膜閥中，由于工作介質(zhì)接觸的僅僅是隔膜和閥體，二者均可以采用多種不同的材料，因此該閥能理想地控制多種工作介質(zhì)，尤其適合帶有化學(xué)腐蝕性或懸浮顆粒的介質(zhì)。

　　真空隔膜閥用耐腐蝕襯里的閥體和耐腐蝕隔膜代替閥芯組件，利用隔膜的移動起調(diào)節(jié)作用。隔膜閥的閥體材料采用鑄鐵、鑄鋼，或鑄造不銹鋼，并襯以各種耐腐蝕或耐磨材料、隔膜材料橡膠及聚四氟乙烯。襯里的隔膜耐腐蝕性能強(qiáng)，適用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)的調(diào)節(jié)。

　　真空隔膜閥的結(jié)構(gòu)簡單、流體阻力小、流通能力較同規(guī)格的其他類型閥大；無泄漏，能用于高粘度及有懸浮顆粒介質(zhì)的調(diào)節(jié)。隔膜把介質(zhì)與閥桿上腔隔離，所以沒有填料介質(zhì)也不會外漏。但是，由于隔膜和襯里材料的限制，耐壓性、耐溫性較差，一般只適用于1.6MPa公稱壓力和150℃以下。